摘要：基于非硅表面微加工技术，设计并制造了一种用于振动监测的新型微机电系统( MEMS)冲击开关。开关主要由三部分构成：作为可动电极的质量块，作为固定电极的十字梁，和位于质量块中心的具有延时作用的可动触点。通过ANSYS有限元仿真，对器件进行模态分析，考察了器件的横向抗干扰能力；并提取了器件的物理参数（如弹簧弹性系数和系统有效质量），以用于Simulink动态仿真。通过动态仿真验证了器件的工作原理，并与传统微冲击开关进行了比较。使用落锤试验对所制造出的微冲击开关进行测试，加载脉宽1ms的半正弦冲击加速度，测得其n1/W]{S24S 插座网 http://www.chazuo.com.cn/
作者：蔡豪刚；丁桂甫；杨卓青；周镇威；汪红（上海交通大学微纳科学技术研究院，薄膜与微细技术教育部重点实验室，微米/纳米加工技术国家级重点实验室，上海200240）n1/W]{S24S 插座网 http://www.chazuo.com.cn/
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